4.4 设备配置

4.4.1 薄膜太阳能电池生产设备和辅助设备宜选择自动化程度高、耗能低、排放少的设备，洁净区内的生产设备应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定。

4.4.2 生产线工序之间宜采用自动传输设施。采用人工传输时，应配置搬运车和相应的产品载具。

4.4.3 化学气相沉积及物理气相沉积工艺区域应配置洁净室专用的检修起重设备。

条文说明

4.4.2 薄膜太阳能电池工厂的生产达到一定的经济规模和产能需求时，为了有效地降低操作人员的工作强度，提高生产效率和产品质量，宜采取自动化传输方式。薄膜太阳能产品尺寸通常较大，为了保证操作安全和减轻劳动强度，在采用人工方式传输产品时，应采用搬运车和相应的产品载具，如载片盒等。

4.4.3 化学气相沉积设备和溅射设备需定期进行腔体维修和靶材更换等，配置必要的吊装起重设备是为了满足该类设备维修和更换部件时起吊较重部件的要求。吊装起重设备的设置需要满足服务区域、起吊高度和使用负荷要求外，还需要满足表面光洁、易清洁、不发尘、不挥发泄漏等洁净要求。

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