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2 术语
	2.0.1 薄膜太阳能电池 thin film solar cell
本标准特指以硅基、铜铟镓硒、碲化镉、砷化镓半导体薄膜作为光电转换材料的太阳能电池。
本标准特指以硅基、铜铟镓硒、碲化镉、砷化镓半导体薄膜作为光电转换材料的太阳能电池。
	2.0.2 激光刻线 laser scribe
利用激光的能量将连续的膜层切割出精细的沟槽,以将膜层分割成独立的窄条,形成单个电池之间的串联连接结构的加工工艺。
利用激光的能量将连续的膜层切割出精细的沟槽,以将膜层分割成独立的窄条,形成单个电池之间的串联连接结构的加工工艺。
	2.0.3 化学气相沉积 chemical vapor deposition
	    通过一种或数种物质的气体,以某种方式激活后,在衬底表面发生化学反应,并淀积出所需固体薄膜的生长技术。
	2.0.4 物理气相沉积 physical vapor deposition
	    在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在衬底表面上的薄膜制备技术。
	2.0.5 PVB膜 polyvinyl butyral film
由聚乙烯醇缩丁醛树脂经成型制成的一种高分子薄膜材料,用于薄膜太阳电池基板和盖板之间的粘合材料。
由聚乙烯醇缩丁醛树脂经成型制成的一种高分子薄膜材料,用于薄膜太阳电池基板和盖板之间的粘合材料。
	2.0.6 EVA膜 ethylene-vinyl acetate copolymer film
由乙烯-醋酸乙烯酯共聚物经成型制成的一种高分子薄膜材料,用于薄膜太阳电池基板和盖板之间的粘合材料。
由乙烯-醋酸乙烯酯共聚物经成型制成的一种高分子薄膜材料,用于薄膜太阳电池基板和盖板之间的粘合材料。
	2.0.7 微振动控制 micro-vibration control
为满足精密设备的正常使用要求,对设备生产环境中振幅微小、振动能量主要集中在低频段的振动采取的一系列技术措施。
      
为满足精密设备的正常使用要求,对设备生产环境中振幅微小、振动能量主要集中在低频段的振动采取的一系列技术措施。
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 - 4.1 一般规定
 - 4.2 基本工序
 - 4.3 工艺区别
 - 4.4 设备配置
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 - 5.1 厂址选择
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 - 5.4 交通组织
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 - 6.1 一般规定
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 - 7.1 一般规定
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 - 8.1 冷热源
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 - 8.3 特种气体供应
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 - 8.5 工艺真空和清扫真空
 - 9 供暖、通风、空气调节与净化
 - 9.1 一般规定
 - 9.2 供暖、通风与废气处理
 - 9.3 空气调节与净化
 - 9.4 防烟排烟
 - 10 给水排水
 - 10.1 一般规定
 - 10.2 给水排水
 - 10.3 纯水
 - 10.4 工艺冷却循环水
 - 10.5 废水
 - 10.6 消防
 - 11 电气
 - 11.1 供电系统
 - 11.2 低压配电及电气照明
 - 11.3 信息与自控
 - 11.4 防雷接地
 - 12 节能
 - 附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程
 - 本标准用词说明
 - 引用标准名录
 
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