11.1 一般规定

11.1.1 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。

11.1.2 洁净厂房内使用的各类化学品应按照各自的物理化学特性分类和储存，并应符合现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB 13690的有关规定。

11.1.3 在洁净室(区)内使用危险化学品的生产设备或空间，应采取相应的安全保护措施。

条文说明

11.1.1 电子工业洁净厂房常常需使用各种化学品，根据电子产品品种及其生产工艺的不同，各种电子产品生产所使用的化学品是不相同的，其中以集成电路芯片制造过程、TFT—LCD生产过程所需的化学品品种多，有的纯度要求严格，表25是这两种电子产品生产用洁净厂房内所用的主要化学品种类。表26是有关资料提出的集成电路芯片64M生产过程部分化学品的质量要求。

注表中符号“√”表示该类工厂需要的气体

表26 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求

11.1.2 电子工业洁净厂房所用化学品如表25所列品种较多，它们的分类、储存应符合现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB 13690、《常用危险化学品贮存通则》GB 15603等的相关规定。危险化学品按主要危险特性分为8类，即第1类爆炸品，第2类压缩气体和液化气体，第3类易燃液体，第4类易燃固体、自燃物品和遇湿易燃物品，第5类氧化剂和有机氧化物，第6类有毒品，第7类放射性物品，第8类腐蚀品。

由于各类化学品的性质不同，因此常用化学危险品应分区、分类、分库储存，并不得与禁忌物料混合储存。储存化学危险品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑，其耐火等级、层数、占地面积、安全疏散和防火间距，应符合国家有关规定。

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