9.1 一般规定

9.1.1 电子工业洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一。各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同，在中国电子级水的技术指标中，仅电阻率一项指标——EW-1级水为18MΩ·cm以上，而EW-4级水只为0.5MΩ·cm，相差36倍。在美国试验与材料协会(ASTM)D5127《电子及半导体工业用纯水水质要求》中E-1级、E-4级的电阻率指标也是这样，并且对各等级纯水中离子浓度要求相差更大，如Na离子，E-1级为0.05μg/L，E-1.2级为0.005μg/L、E-3级为5μg/L、E-4级为1000μg/L；E-1级与E-4级相差20000倍。各种电子产品生产用水量的差异也是很大的，一些电子产品组装厂或电子元件工厂的纯水用量在5t/h以下，而TFT-LCD洁净厂房的纯水用量达500～1000t/h。

    纯水系统的原水水质因各地区、城市的水源不同相差很大，有的城市以河水为水源，即使是河水，其河水的源头和沿途流经地区的地质、地貌不同，水质也是不同的；有的城市以井水为水源，井的深度不同、地域不同、地质构造不同均会千差万别，现在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等，有的城市各个区、段供水水质也不相同。所以纯水系统的选择，应根据原水水质的不同，差异很大，是否选择原水预处理，预处理设备的种类、规模都与原水水质有关。因此，电子工业洁净厂房的纯水系统的选择应根据原水水质和电子产品生产工艺对水质的要求，结合纯水系统的产水量以及当时、当地的纯水设备、材料供应等情况，综合进行技术经济比较确定。首先是技术上的可行、供水水质的可靠，在此前提下，选用建设投资较少、运行费用低或建设投资回收年限较短的技术方案。

9.1.4 电子工业洁净厂房的洁净室(区)内，一般不可避免地将会布置有纯水支管或接至产品生产设备的纯水管道，为了减少污染物的扩散、发生、积聚和易于清洁，纯水管道的保温材料选择时，应选用不产生污染物的材料，如橡塑保温材料等，其外表面应平整、光滑，宜外包保护层。