5.7 分析检测

5.7.2  分析检测室不应与甲、乙类房间布置在同一防火分区内，可独立设置于一侧。

5.7.3  分析检测应包括下列内容：

    1  氯硅烷的含量、杂质、含碳化合物分析；

    2  硅粉的含量、杂质、粒度、碳含量分析；

    3  液氩中氧、氮含量分析；

    4  液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量、氧含量和露点分析；

    5  氢气中氧含量、氮含量、氯硅烷含量、露点分析；

    6  水中氯离子(Cl^-)、氟离子(F^-)、化学含氧量(COD)、生化需氧量(BOD)、酸碱度(pH值)、硬度、全碱度、悬浮物、总磷、正磷分析；

    7  大气中氯化氢、氟化物、氮氧化物分析；

    8  多晶硅质量指标分析，指标分析包括多晶硅的导电类型、电阻率、少子寿命、氧含量、碳含量、表面金属杂质含量、体金属杂质含量的分析；

    9  合成原料氯化氢的纯度分析；

    10  液氯中三氯化氮、水含量分析。

5.7.4  分析检测室中除化学分析外，其他分析检测室应设置在洁净区。