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附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
B.0.1 发光二极管生产工艺动力品质(气体)要求可按表B.0.1执行。
表B.0.1 工艺动力品质(气体)要求
	
注:表中所列数值为参考值,根据选择的设备不同,会有差别。
B.0.2 发光二极管生产工艺动力品质(水)要求可按表B.0.2执行。
表B.0.2 工艺动力品质(水)要求
	
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 - 4.1 一般规定
 - 4.2 基本工序与生产协作
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 - 7.1 一般规定
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 - 12.1 一般规定
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 - 12.3 防静电接地
 - 13 空间管理
 - 13.1 一般规定
 - 13.2 管线布置
 - 附录A 发光二极管典型生产环境要求
 - 附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
 - 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
 - C.1 整体流程
 - C.2 分步流程
 - 本规范用词说明
 - 引用标准名录
 
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