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11.3 自控
11.3.1 发光二极管厂房环境和公用动力设备监控系统宜采用集散或分布式网络结构,系统应易于扩展和维护,并应具备显示、记录、控制、报警、分析和提示功能。
11.3.2 洁净区与非洁净区之间应设置压差变送器,洁净区与非洁净区之间的压差宜为5Pa。当洁净区净化空调选用变频风机时,设备监控系统应根据洁净区与非洁净区之间的压差设定值调节风机转速。
11.3.3 空调系统的电加热器应设有无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设有无水保护。
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 - 11.2 防雷与接地
 - 11.3 自控
 - 11.4 通信
 - 11.5 安全防护
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 - 12.1 一般规定
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 - 13.1 一般规定
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 - 附录A 发光二极管典型生产环境要求
 - 附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
 - 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
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 - C.2 分步流程
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