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- 前言
 - 1 总则
 - 2 术语
 - 3 工艺设计
 - 3.1 一般规定
 - 3.2 技术选择
 - 3.3 工艺布局
 - 4 总部设计
 - 4.1 厂址选择
 - 4.2 总体规划及布局
 - 5 建筑与结构
 - 5.1 建筑
 - 5.2 结构
 - 5.3 防火疏散
 - 6 防微振
 - 6.1 一般规定
 - 6.2 结构
 - 6.3 机械
 - 7 冷热源
 - 8 给排水及消防
 - 8.1 一般规定
 - 8.2 给排水
 - 8.3 消防
 - 8.4 灭火器
 - 9 电气
 - 9.1 供配电
 - 9.2 照明
 - 9.3 接地
 - 9.4 防静电
 - 9.5 通信与安全保护
 - 9.6 电磁屏蔽
 - 10 工艺相关系统
 - 10.1 净化区
 - 10.2 工艺排风
 - 10.3 纯水
 - 10.4 废水
 - 10.5 工艺循环冷却水
 - 10.6 大宗气体
 - 10.7 干燥压缩空气
 - 10.8 真空
 - 10.9 特种气体
 - 10.10 化学品
 - 11 空间管理
 - 12 环境安全卫生
 - 本规范用词说明
 - 引用标准名录
 
- 
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